MEMS技术是MEMS技术与光学技术的融合，也称为微光机电技术。MEMS在智能光通信设备、MEMS激光元件、MEMS光显示、MEMS光传感器、MEMS传感器、MEMS摄像头等应用领域具有不可替代性，市场前景广阔，有望达到100亿美元的市场规模。
MEMS的市场规模也在扩大，未来的市场空间也在扩大。电子爱好者梳理了目前市场上主要的光学MEMS传感器，包括ADI、高德红外、艾瑞光电、汉威等几家知名市场龙头企业。有一模块包括高效光度学前端、发光二极管(LED)和光电二极管(PD)。将LED密封在定制封装中，防止LED发出的光线直接照射到进入烟雾检测腔前的光电二极管上。ASIC的前端包括一个控制模块、一个14位模数转换器(ADC)和三个可独立控制的柔性LED驱动单元。该控制电路包括柔性LED信号传输和同步检测功能。模拟前端(AFE)可以抑制调制干扰引起的信号失衡和破坏(通常是环境光)的一流特性。数据输出和功能配置通过1.8VI2C接口或串行外部接口(SPI)端口实现。ADPD是一种用于测量入射红外光角的光学传感器。根据ADPD2140响应计算，±35°角视场的光角线性度为±5°。辐射敏感区为0.31mm2，ADPD2140。ADPD2140具有低结电容和低暗电流，可实现ADPD1080光学前端的集成。ADPD2140采用2mm×3mm8针脚透明模LFCSP包装，可在40℃至+85℃的工作温度范围内工作。
用户手势控制、物体位置跟踪、工业/自动监控角度感应、接近感应、物体距离测量(三角测量)等。ADPDRI是一个高度集成的光学前端。经过优化，可以同步检测红光和红外波长，检测血氧饱和度(PPG)的光学体积描述(PPG)。同时，测量可以消除DC和交流环境中的光干扰，降低功耗。采用高效发光二极管(LED)发射器和灵敏的4通道深扩散光电二极管(PD1-PD4)与定制应用专用集成电路(ASIC)相结合，为集成LED发射器和探测光电二极管之间提供光学隔离，提高穿透组织的信噪比(SNR)。ASIC包括一个4通道模拟前端(AFE)(有两个独立的数据路径，每个都有不同的增益和滤波器设置)，一个带脉冲蓄能器的14位ADC(ADC)，两个可以独立配置的柔性LED驱动器和一个数字控制块。数字控制模块提供AFE和LED时序、信号处理和通信。数据输出和功能配置是通过1.8VI2C接口实现的。调节发光二极管，测量回光信号。数字引擎包括电路和数据聚合和近距离探测控制。数据输出和设备配置采用1.8VI2C接口。采用柔性发光二极管宽度控制、周期发生和同步检测。配套产品包括：低噪音，低功耗，宽动态范围可配置模拟前端(AFE)，以及具有定位和智能采样模式的数字逻辑器件，LED驱动器和数字逻辑器件(事件驱动型x，y坐标，相对z数据)。这种全AFE具有环境光抑制性能，可以避免外界干扰造成的破坏。本产品要求配置便宜的标准贴纸、宽角或窄角IRLED(根据应用)。该LED安装在ADUX1020的外部。ADUX1020采用2mm×3mm小的8针LFCSP透明封装，额定工作温度范围在-40℃至+85℃之间。用户界面(UI)控制手势，工业/自动监控，存在检测，角度检测，应用于便携设备。由于其强大的光学开发能力和资源整合，歌尔歌尔提供了应用于微投影、触摸投影和AR的MEMS激光扫描模块，并应用于手势识别、3D建模、AR\VR等景深模块。高德红外PLUG417SPLUG417S是专门为人体温度测量开发的核心组件产品。PLUG417S通过50pin接口或USB3.0端口将数据传输到后端平台进行集成，依靠SDK开发包辅助后端实现温度数据、图像显示等功能。基于PLUG417S的用户可以快速开发集成的红外体温筛查系统。PLUG417S测温精度高，测温误差≤0.5，可实现5米远的温度测量，采用USB3.0接口实现供电+数据传输+控制三大功能，最后预设密封圈，可实现5米远的温度测量和数据传输+控制三大功能。汉威WS20PWS20PPM2.5激光传感器利用激光探测原理实现粒径的准确分辨和计数，即通过测量粒子对激光散射光的强度分布和变化，利用自主开发的专业算法准确采集粒子，将其分辨计数转化为质量数，通过数据接口输出。独特的气液力学结构设计，防止感光元件附着在颗粒上，用算法补偿少量附着颗粒，保证高精度、长寿命；传感器体积小，测量范围宽(0-1万微克/立方米)，粒径分辨率强(最小0.3微米)，使用寿命可达3万小时。主要用途:家用(车载、便携式)空气检测仪、空气净化器等艾瑞光电S121艾瑞光电等最小像元核心系列，汇集了艾瑞光电最小红外技术。S121具有突破性的1280×1024探测器，是艾瑞光电迄今为止最大面阵+最小像元探测器，输出信号为14-bit数字输出，工作温度范围为-40℃~+85℃Micro640P采用氧化钒非制冷红外焦平面探测器，输出信号为14-bit数字输出。提供4~6VDC电源，工作温度范围为-40℃~+80℃，储存温度范围为-45℃~+85℃。主要用于夜视头盔和轻型无人机。T2LInfiRay全新一代红外测温手机T2L成像效果极佳，红外测温体验方便，机身小巧轻便。相应地，12μm象元间隔、8~14μm响应波段、10℃~+50℃的工作温度范围为-10℃~+50℃，相应地，我国MEMS产业起步较晚，企业规模较小。
近年来，国内厂商不遗余力地追赶国外企业，利用智能传感器产业转型的机遇，积极布局MEMS产业链，不断提高设计、制造和封装测试的竞争力，在光学等领域建立了全球竞争力，并不断向其他领域拓展和延伸。
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