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压阻式压力传感器质量好坏的区别

时间:2021-04-12 点击次数:

        压力传感器典型类型压力传感器主要可分为压阻式、电容式、压电式、谐振式、伺服控制式和CMQS集成式等。压阻式压力传感器又称扩散硅压力传感器,其制造技术比较简单,线性好,价格通常也相对较低,但对温度相对敏感,可能存在温度漂移,且灵敏度相对较低,典型产品技术数据如下。

压阻式压力传感器质量好坏的区别(图1)

        1、工作原理不同

        压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。

        压电式压力传感器大多是利用正压电效应制成的。

        2、侧重点不同

        压电式压力传感器当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷;当外力撤去后,晶体又恢复到不带电的状态;当外力作用方向改变时,电荷的极性也随之改变;晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。

        压阻式压力传感器采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。

        3、构造不同

        压电式压力传感器基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。

        压阻式传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压力传感器是测量工作介质压力的元件,其输出通常是连续的模拟信号。压力开关是根据压力控制电路通断的元件,输出通常是开关值。

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