新闻中心
当前位置: 首页 - 新闻中心

电容式传感器和弹性波式传感器的介绍

时间:2021-03-13 点击次数:

简述电容式压力传感器及表面弹性波形压力传感器。

电容式压力传感器:

利用氧化铝薄膜和底板相互靠近排列形成电容器,利用电容器薄膜上下压差变化的性质,得到与压力成正比的电容器值信号。将电容器连接到传感器混合集成电路的振动电路上,传感器产生变频信号。输出频率与进气压力成正比,在80.120Hz之间发生变化。

表面弹性波形压力传感器:

用超声波加工薄膜敏感区域的压电基板,雕刻更换器(压敏SAW延迟线),将更换器和电路组合成振动器。

传感器是在研磨过的压电基板上设置两个金属叉,当输入传感器叉在T1上添加电信号时,反压电效应在基板寿命面上激发弹性表面波,传播到传感器文指T2,变成电信号,扩大后反馈T1,保持振动状态。两个交换叉之间的表面弹性波传播时间是延迟时间,其大小取决于两个交换叉之间的距离。

由于进气分支管的压力作用于压电基板,压力变化在薄膜敏感区域发生变化,即使交换叉指间距发生变化。因此,表面弹性波传播的延迟时间发生了相应的变化。这样,压力信号可以根据振动频率与延迟时间成反比输出。

频率压力传感器的信号电压一般为5V或12V。当空气流量发生变化时,电压始终保持不变,输出的脉冲频率也发生变化,因此流量的变化不能根据测量电压来确定。

免责声明:本文部分内容源于网络,旨在传递和分享更多信息,如有侵犯您的权利,请联系我们删除。


推荐阅读

Copyright © 2013-2021 深圳市力准传感技术有限公司 版权所有  粤ICP备18107338号-1

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

0755-8923 3819

力准公众号

扫一扫,关注我们