压力传感器元件压力测量方法的介绍

压阻传感器的高精度及其测量绝对压力、表压和压差的能力使其得到广泛应用。对于工业设备和机械，压力传感器提供的信息可以用来最有效地操作液压或气动设备，然后与新的工业4.0标准连接。

汽车对燃料效率和减少有害排放的要求越来越高，需要长期稳定和高精度的传感器。除了介质电阻，一些用途要求压力传感器具有抗冻性，但最重要的是，传感器需要在整个寿命内提供可靠的信号。

所有用途对压力模具的独特性提出了越来越高的要求，需要在模具水平上具有特定的设计特性。TDK压力传感器产品系列的开发重点是提高灵敏度，以较小的模具尺寸提供高性能。此外，还应特别注意介质电阻和易处理能力的具体特点。

压阻压力传感方法

测量压阻压力。

绝对压力测量-前侧。

将玻璃粘在真空下的硅上，产生对照真空。被测介质与压力传感器芯片前侧的有源电子元件接触。

绝对压力测量-背面。

对于潮湿或腐蚀介质，用额外的玻璃盖在前侧形成对照室。介质用于背入口。

测量压差和压差。

测量表压或压差前侧与背侧的区别。高前压引起的压差导致输出信号的正变化。高背压导致输出信号负变化。

用于压力传感器模具。

以上是压力传感器元件压力测量方法的介绍。

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