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主流的扩散性半导体压力传感器有哪三种

时间:2021-03-24 点击次数:

扩散半导体压力传感器,又称硅压力传感器。这里有三个主流的扩散半导体压力传感器。


这种类型的传感器在80℃以下测量空气等非腐蚀性气体,需要用硅凝胶等软树脂包装,即将硅片粘接到金属底座上,然后引出连接线。为了提高可靠性,用硅凝胶填充成型,其优点是成本很低。其原理是待测气体通过与管壳上的管道连接的橡胶管导入,压力通过硅凝胶导入,作用于圆形隔板的上部,下部受到大气压力。在压力下,两个压差使隔板凹陷。


该硅压力传感器安装在发动机系统中,为了耐汽油蒸汽的110℃高温,稳定工作,这里不能使用树脂,需要在金属底座上用玻璃连接硅片和硅座。


金属底座和硅片的热膨胀系数不同,所以用5毫米厚的硅片缓冲。管道安装在无组件的硅片内侧,当管壳为真空时检测绝对压力。


流量计采用硅压力传感器,内部填充液体,主要用于油压和成套设备作为流量计。其结构是将硅片安装在底座上后,用薄型SUS隔板密封管壳上部,内部密封硅油。由于测量体只接触SUS隔板,可以承受一些腐蚀性气体和液体,其特点是成本高。


另外,硅压力传感器的检测方式有三种:压差显示的压力型、绝对压力型和硅片两侧管道的二差压型。


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