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相对压力传感器集成电路的研发

时间:2021-03-22 点击次数:

有关企业在集成电路相对压力传感器测量应用中推出超低压。利用最新的微电子机械系统技术,与模拟信号链和数字信号处理器紧密结合,是一种可可靠测量50mbar至700mbar燃料蒸汽压力的集成系统,适用于内燃机或中型EVAP系统(燃料蒸发排放控制系统)。

随着更多地区实行严格的法规,大气中的燃料蒸汽被禁止排放。使用EVAP系统检测燃油蒸汽压力对生产厂家来说越来越重要。EVAP系统捕获、存储和处理燃料蒸汽,当燃料蒸汽在油箱和燃料中间聚集时,防止它们泄漏到空气中。该压力传感器能在超低电压下工作,它能检测出EVAP系统中任何部分可能发生的微小泄漏,因此它是此类系统的关键部件。

该产品是相对压力传感器,具有稳定、可靠、准确等特点,适用于内燃机及大中型EVAP系统,一级供应商和模块制造商可使两个产品设计一种,应用于工厂校准的传感器IC。这种传感器包装牢固,易于密封,能在零下40度到零上150度之间工作,并能提供完整的PPAP(产品部件批准程序)支持。

在这些方法中,燃料蒸汽的测量更为复杂,因此需要更强大的感应解决方案。另外,由于ICE(内燃机)和EVAP系统都配有一些压力传感器IC,因此灵活、简单的设计就显得尤为重要。MLX90821不仅尺寸小到可以用于任何模块,而且由于系统集成程度高,设计也很简单,实际上提供了即插即用的方式。数字信号处理机(P)可以充分利用发送接口上的快、慢信道,增加诊断信息,应用自定义校准,提高诊断精度。MLX90821具有钳位电平、断路诊断和内部故障诊断等多种诊断功能。

该系统封装了压力传感器集成电路,采用背板蚀刻的制造执行系统传感器,使其暴露在蒸汽和其它介质中,提供强大的保护,防止燃料蒸汽系统等恶劣环境中的污染物。本系统中制造执行部分的开发,保证了设计的灵活性。与此同时,整个传感器具有极强的制造执行系统(EMC)保护和免疫能力,使其易于与制造执行系统和制造执行系统集成。

每一个传感器集成电路在生产的最后一步都要进行校准,以在内部的EEPROM中存储压力传递曲线和钳位电平。利用比例模拟或发送函数输出温度测量结果,包括温度测量结果。此外,可以选择的NTC(负温度系数)温度补偿功能采用外部NTC,当应用程序还需要记录监测介质的精确温度测量数据时,可能就需要使用外部NTC。

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