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压阻传感器的基本原理是将电转化为电阻值

时间:2022-09-26 点击次数:

压阻传感器的基本原理是将测量的电量转化为电阻值,然后通过转换电路转化为电量输出。各种电阻传感器主要包括压敏传感器、热敏传感器、光敏传感器和湿敏传感器。

压力传感器可以测量力、压力、位移、应变、加速度和温度。电阻传感器结构简单,性能稳定,灵敏度高,有的还可用于动态测量。

以典型的固态压阻压力传感器为例,当硅单晶材料受到外力作用时,其内部原子结构的电子能级状态会发生变化,导致其电阻率的剧烈变化。这种材料制成的电阻也发生了很大的变化,称为压阻效应。利用压阻效应原理,采用综合工艺技术,沿单晶硅片特性晶体方向,形成应变电阻,形成惠斯登桥,利用硅材料的弹性力学特性,在同一硅材料上进行各向异性微加工,形成集力敏感和力转换检测于一体的扩散硅传感器。将放大电路及相关外围部件与传感器匹配,输出标准信号,形成完整的变送器。

硅压阻力传感器一般对温度敏感,但随着集成技术的进步,扩散硅敏感膜的四个电阻一致性进一步提高,在新一代传感器中,原手工补偿被激光阻力、计算机自动修复技术取代,传感器温度系数很小,工作温度范围也大大提高。

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