联系我们
了解更多详细信息，请致电 0755-8923 38190755-8923 3406
或给我们留言
新闻详情您的位置：首页 > 行业新闻 > 详细内容
微型传感器的结构介绍
来源：http://www.ligentcn.com/news/1295.html发布时间：2018-11-23
品质优良、品质保证层层质检、严格把控品质
随着传感器不断的向半导体化、集成化、小型化和智能化方向发展，传感器技术主要相为系统技术（或称微机械加工技术）发展。微型传感器是集微机械、微电子、微光学和数据处理软件等为一体的一门综合技术。下面介绍微型传感器的结构
1.硅膜片结构是硅电容式和扩散硅式压力传感器常用的基本结构，由整体硅片经刻蚀技术获得
2.悬臂梁结构，常用于加速度传感器，由于刻蚀技术和牺牲层技术获得，
3.另一种是支撑膜结构，是应变式传感器的常用结构你，
4.梁式谐振结构，谐振梁由牺牲层技术做在硅膜片上，并封装在真腔内，以提高振动梁的品质因数，直接感受测量作用的E型硅膜片，在其环形膜的上表面制作了一对差动作用的硅谐振梁，并封装在真空腔内。这种结构制成谐振式低压传感器。
特点及作用：
在微机械装置中最不希望产生封应力、残余力和外界干扰等，特别是对高灵敏度的位传感器而言，它们的效应会反映在传感器的输出中，造成测量误差。为了显著减小这些因素对传感器敏感部分影响，可运用机械隔离技术的概念，设计合理结构，实现敏感部分与几座的解藕。
价格保证 厂家直销无差价
产品实力持续创新、新品研发能力强;
力准-为客户提供全套力控解决方案。
上一条:选用拉力传感器的基本原则
下一条:如何进行称重传感器选型？
相关新闻
- 动态力测量传感器的选用2020-03-07
- 三维力传感器工作原理介绍2019-08-07
- 【精选】拉力传感器应用原理_微型力传感器的选型2019-04-19
- 【传感器小科普】压力/液压传感器知识普及2019-03-13
相关产品
